平面薄膜电感的研究与开发现状
来源期刊：磁性材料及器件2003年第2期
论文作者：张怀武 苏桦 唐晓莉
关键词：薄膜电感; 结构; 工艺;
摘 要：为满足电子系统的表面贴装技术、微组装技术发展的需要,对器件片式化、小型化、微型化的要求越来越高.而电感作为电路的三大基础性元件之一,其片式化、薄膜化势在必行.本文就近几年国内外片式薄膜电感的发展研究状况做一综述.
张怀武1，苏桦1，唐晓莉1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川成都,610054)
摘要:为满足电子系统的表面贴装技术、微组装技术发展的需要,对器件片式化、小型化、微型化的要求越来越高.而电感作为电路的三大基础性元件之一,其片式化、薄膜化势在必行.本文就近几年国内外片式薄膜电感的发展研究状况做一综述.
关键词:薄膜电感; 结构; 工艺;
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