CVD金刚石制备方法及其工业化前景分析
来源期刊：超硬材料工程2009年第1期
论文作者：董长顺 玄真武 石岩 秦松岩
文章页码：33 - 39
关键词：CVD;金刚石膜;沉积法;综述;
摘 要：文章对多种CVD金刚石膜制备方法进行了介绍,同时对近年来国内外CVD金刚石技术及其产业发展状况、应用领域开发、潜在的市场前景等方面进行了分析讨论。指出:作为21世纪的高新材料,CVD金刚石及其工具产品的产业化发展,必将在科技、军工及民用工业等技术领域起非常重要的作用。
董长顺，玄真武，石岩，秦松岩
摘 要：文章对多种CVD金刚石膜制备方法进行了介绍,同时对近年来国内外CVD金刚石技术及其产业发展状况、应用领域开发、潜在的市场前景等方面进行了分析讨论。指出:作为21世纪的高新材料,CVD金刚石及其工具产品的产业化发展,必将在科技、军工及民用工业等技术领域起非常重要的作用。
关键词：CVD;金刚石膜;沉积法;综述;
