电泳沉积法制备锶铁氧体厚膜

来源期刊：材料导报2014年第4期

论文作者：王鹏 李军科 彭斌 王渊朝

文章页码：11 - 32

关键词：锶铁氧体薄膜;Zeta电位;电泳沉积;微波铁氧体器件;

摘    要：通过表面活性剂十二烷基苯磺酸（DBSA）包覆锶铁氧体,在1-丁醇中制备了稳定的悬浮液并成功电泳沉积锶铁氧体厚膜。从理论和实验上研究了沉积量及膜厚与电场强度、电泳时间和电极距离等的关系。结果表明电泳法能够制备质量优异的锶铁氧体厚膜,但沉积条件对厚膜有重要影响。烧结温度为1000℃时可获得磁性能良好的厚膜,其比饱和磁化强度为45A·m2/kg,剩磁比为0.556,矫顽力为4840Oe。经过分步沉积膜厚可达40μm左右。利用该方法制备的膜可用于设计带宽较宽的非互易微波铁氧体器件。