AlN电热元件的研制
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年增刊第1期
论文作者：赵玉珍 张珺 周和平
关键词：电热元件; AlN; Pt; 丝网印刷;
摘 要：设计并制备了AlN电热元件,电热元件由AlN陶瓷基片及其附着其上的通电线路Pt组成.利用丝网印刷的方法在AlN表面进行Pt浆料布线,线条数目为10.烧成温度选为1000 ℃和1300 ℃.用红外测温仪测量不同电压下的电热元件的工作温度.研究发现,1300 ℃烧成的电热元件可稳定工作于1000 ℃以上,符合设计要求.AlN/Pt的结合界面SEM形貌表明AlN与Pt膜是紧密的机械结合.AlN表面氧化生成的氧化膜利于Pt膜与AlN陶瓷的结合.
赵玉珍1，张珺1，周和平1
(1.清华大学材料科学与工程系,北京,100084)
摘要:设计并制备了AlN电热元件,电热元件由AlN陶瓷基片及其附着其上的通电线路Pt组成.利用丝网印刷的方法在AlN表面进行Pt浆料布线,线条数目为10.烧成温度选为1000 ℃和1300 ℃.用红外测温仪测量不同电压下的电热元件的工作温度.研究发现,1300 ℃烧成的电热元件可稳定工作于1000 ℃以上,符合设计要求.AlN/Pt的结合界面SEM形貌表明AlN与Pt膜是紧密的机械结合.AlN表面氧化生成的氧化膜利于Pt膜与AlN陶瓷的结合.
关键词:电热元件; AlN; Pt; 丝网印刷;
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