VO2薄膜研究进展与发展趋势
来源期刊：兵器材料科学与工程2012年第4期
论文作者：张鹏 路远
文章页码：109 - 112
关键词：VO2薄膜;制备方法;相变温度;
摘 要：VO2是一种新型材料,在68℃左右可发生低温半导体与高温金属相之间的可逆相变。综述了VO2薄膜的基本性能,介绍几种常用的VO2薄膜制备方法,对VO2薄膜的应用以及VO2薄膜相变温度的控制方面的研究进展进行探讨;对VO2薄膜的不同应用方向、未来发展趋势及研究重点进行展望。
张鹏，路远
电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室
摘 要：VO2是一种新型材料,在68℃左右可发生低温半导体与高温金属相之间的可逆相变。综述了VO2薄膜的基本性能,介绍几种常用的VO2薄膜制备方法,对VO2薄膜的应用以及VO2薄膜相变温度的控制方面的研究进展进行探讨;对VO2薄膜的不同应用方向、未来发展趋势及研究重点进行展望。
关键词：VO2薄膜;制备方法;相变温度;
