化学表面处理对微型化的氮氧化硅驻极体层电荷储存性能的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第1期
论文作者：夏钟福 张晓青 周涛 沈莉莉 付晓明
关键词：氮氧化硅驻极体; 表面处理; 微型化; 电荷稳定性及其动态特性;
摘 要：研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用.借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其动态特性的影响.
夏钟福1，张晓青1，周涛1，沈莉莉1，付晓明1
(1.同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092)
摘要:研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用.借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其动态特性的影响.
关键词:氮氧化硅驻极体; 表面处理; 微型化; 电荷稳定性及其动态特性;
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