EB-PVD及其制备功能涂层的研究进展
来源期刊：材料工程2007年增刊第1期
论文作者：李明伟 赫晓东 孙跃 滕敏
关键词：电子束物理气相沉积; 涂层; 热防护;
摘 要：介绍了电子束物理气相沉积(EB-PVD)设备的结构、工艺技术特点等,重点介绍了EB-PVD技术在制备各种防护涂层方面所取得的成果及研究进展.
李明伟1，赫晓东1，孙跃1，滕敏1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,哈尔滨,150080)
摘要:介绍了电子束物理气相沉积(EB-PVD)设备的结构、工艺技术特点等,重点介绍了EB-PVD技术在制备各种防护涂层方面所取得的成果及研究进展.
关键词:电子束物理气相沉积; 涂层; 热防护;
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