CVD法制备高纯钛过程中Ni的热力学分析
来源期刊：轻金属2015年第7期
论文作者：李杰瑞 陈肖虎 李纪伟 王帅帅 李明新 王睿
文章页码：48 - 50
关键词：CVD;高纯钛;杂质;热力学;镍;
摘 要：对卤化法制备高纯钛过程中Ni的行为进行了热力学分析:在实验条件下,杂质元素Ni能在卤化源区(800~1000K),与卤化剂反应,生成Ni I2。在沉积区(1450~1650K),Ni可以通过裂解反应进入高纯钛产品中。
李杰瑞，陈肖虎，李纪伟，王帅帅，李明新，王睿
贵州大学材料与冶金学院
摘 要：对卤化法制备高纯钛过程中Ni的行为进行了热力学分析:在实验条件下,杂质元素Ni能在卤化源区(800~1000K),与卤化剂反应,生成Ni I2。在沉积区(1450~1650K),Ni可以通过裂解反应进入高纯钛产品中。
关键词：CVD;高纯钛;杂质;热力学;镍;
