大规模集成电路导电薄膜的织构效应
来源期刊：工程科学学报2000年第6期
论文作者：张弘
文章页码：539 - 542
关键词：铝薄膜;面织构;内应力;内联导;
摘 要：利用Ｘ射线技术检测了普通工艺和改进工艺制备的内联导电铝膜的织构．分析表明，高体积量且锋锐的｛１１１｝面织构可以大幅度降低大规模集成电路芯片的失效率．讨论了失效的原因及｛１１１｝织构的有利作用．指出了新一代内联导电铜膜相应织构问题的重要性．
张弘
摘 要：利用Ｘ射线技术检测了普通工艺和改进工艺制备的内联导电铝膜的织构．分析表明，高体积量且锋锐的｛１１１｝面织构可以大幅度降低大规模集成电路芯片的失效率．讨论了失效的原因及｛１１１｝织构的有利作用．指出了新一代内联导电铜膜相应织构问题的重要性．
关键词：铝薄膜;面织构;内应力;内联导;
