择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析
来源期刊：材料导报2003年第4期
论文作者：王悦辉 庄志强
关键词：择优取向; 铁电薄膜; 衬底; 热处理;
摘 要：制备性能优良、高度择优取向或外延生长、成分均匀、结构可控的晶态铁电薄膜材料,是发展铁电薄膜应用的基础.随着铁电薄膜在微电子学,光电子学和集成光学等领域的应用不断扩大,如何制备高性能的铁电薄膜材料一直称为人们关注的热点.对择优取向铁电薄膜材料制备技术中的主要影响因素进行了分析,希望能为从事此方面工作的研究者提供一定的借鉴.
王悦辉1，庄志强1
(1.华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640)
摘要:制备性能优良、高度择优取向或外延生长、成分均匀、结构可控的晶态铁电薄膜材料,是发展铁电薄膜应用的基础.随着铁电薄膜在微电子学,光电子学和集成光学等领域的应用不断扩大,如何制备高性能的铁电薄膜材料一直称为人们关注的热点.对择优取向铁电薄膜材料制备技术中的主要影响因素进行了分析,希望能为从事此方面工作的研究者提供一定的借鉴.
关键词:择优取向; 铁电薄膜; 衬底; 热处理;
【全文内容正在添加中】
