热丝CVD法制备大面积高质量自支撑金刚石厚膜
来源期刊：超硬材料工程2009年第4期
论文作者：邓福铭 赵志岩 卢学军 李文铸
文章页码：1 - 5
关键词：热丝CVD;大面积;高质量;金刚石厚膜;
摘 要：采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜。X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体单一、完好、纯度高,生长速度快,已接近制备实用化的金刚石膜的要求。
邓福铭1，赵志岩1，卢学军1,2，李文铸1
1. 中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所2. 北京迪蒙特佳工模具技术有限公司
摘 要：采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜。X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体单一、完好、纯度高,生长速度快,已接近制备实用化的金刚石膜的要求。
关键词：热丝CVD;大面积;高质量;金刚石厚膜;
