面向固晶装备的光学定位控制系统设计
来源期刊：机械设计与制造2008年第7期
论文作者：刘学平 邹松青 吴小峰
文章页码：1 - 3
关键词：控制系统;固晶;光学定位;
摘 要：介绍了面向固晶装备的光学定位控制系统的工作原理,并阐述了其系统硬件设计方案和软件实现。阐述了其运动控制部分采用基于PCI总线的运动控制卡与工控机相结合的方案,分析了视觉定位模块、执行机构等辅助实现运动控制的原理,该系统具有高精度、高速度、人机交互性好等特点。本系统在实验室通过了实验验证。
刘学平，邹松青，吴小峰
摘 要：介绍了面向固晶装备的光学定位控制系统的工作原理,并阐述了其系统硬件设计方案和软件实现。阐述了其运动控制部分采用基于PCI总线的运动控制卡与工控机相结合的方案,分析了视觉定位模块、执行机构等辅助实现运动控制的原理,该系统具有高精度、高速度、人机交互性好等特点。本系统在实验室通过了实验验证。
关键词：控制系统;固晶;光学定位;
