用气相沉积法制取钨制品
来源期刊：稀有金属与硬质合金1990年第1期
论文作者：李沐山
文章页码：53 - 56
摘 要：六氟化钨氢还原沉积钨,即气相沉积钨是钨冶炼中的一项先进技术.利用气相沉积法已制取了各种钨制品.文中介绍了用气相沉积法制取钨制品的工艺与设备,讨论了影响生产过程和制品质量的因素,论述了制得的制品的结构与性能,并指出了这种方法的应用前景.
李沐山
株洲硬质合金厂
摘 要：六氟化钨氢还原沉积钨,即气相沉积钨是钨冶炼中的一项先进技术.利用气相沉积法已制取了各种钨制品.文中介绍了用气相沉积法制取钨制品的工艺与设备,讨论了影响生产过程和制品质量的因素,论述了制得的制品的结构与性能,并指出了这种方法的应用前景.
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