脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构
来源期刊：金属学报2002年第6期
论文作者：吴杏芳 韦鲲 杨思泽 单小鸥
关键词：脉冲高能量密度等离子体; 立方AlN; 六方AlN; 显微组织;
摘 要：利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.
吴杏芳1，韦鲲1，杨思泽2，单小鸥1
(1.北京科技大学材料物理系,北京,100083;
2.中国科学院物理研究所,北京,100080)
摘要:利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.
关键词:脉冲高能量密度等离子体; 立方AlN; 六方AlN; 显微组织;
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