CuCl+注入α-Al2O3晶体退火后表面亚微米颗粒的形成情况研究
来源期刊：材料开发与应用2008年第6期
论文作者：黄宁康 王春芬 张永辉 张海峰
关键词：离子注人; 退火; 偏聚; 亚微米颗粒;
摘 要：CuCl+离子注入不同晶向的α-A12O3晶体中,对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察.结果发现,不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-Al2O3晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒.说明CuCl+离子注入α-Al2O3晶体产生的缺陷损伤在退火过程中,单个分散的带电色心缺陷与CuCl+离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuCl原子的偏聚,随着退火时间的增加,偏聚程度提高而形成颗粒,并逐渐长大形成亚微米颗粒.颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同.
黄宁康1，王春芬2，张永辉2，张海峰2
(1.四川大学原子核科学技术研究所,教育部辐射物理及技术重点实验室,四川成都,610064;
2.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南洛阳,471039)
摘要:CuCl+离子注入不同晶向的α-A12O3晶体中,对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察.结果发现,不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-Al2O3晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒.说明CuCl+离子注入α-Al2O3晶体产生的缺陷损伤在退火过程中,单个分散的带电色心缺陷与CuCl+离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuCl原子的偏聚,随着退火时间的增加,偏聚程度提高而形成颗粒,并逐渐长大形成亚微米颗粒.颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同.
关键词:离子注人; 退火; 偏聚; 亚微米颗粒;
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