基于LaNiO3和Pt电极的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜制备和电学性能研究
来源期刊：功能材料2014年第17期
论文作者：邹雪 赵全亮 李志永 李进
文章页码：17070 - 17074
关键词：锆钛酸铅;铁电性能;介电性能;溶胶-凝胶;
摘 要：采用了溶胶-凝胶（sol-gel）法分别在LaNiO3/Si和Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备Pb（Zr0.52Ti0.48）O3（PZT）薄膜。X射线衍射（XRD）结果表明,在相同的工艺参数下PZT/LaNiO3薄膜表现出高度的（100）取向,而PZT/Pt薄膜则呈现（100）和（111）多晶混合取向。扫描电子显微镜（SEM）结果显示,PZT/LaNiO3薄膜表面晶粒尺寸更加均匀。经过铁电和介电性能测试,PZT/LaNiO3和PZT/Pt薄膜的剩余极化强度分别为24.4和15.3μC/cm2,矫顽场分别为130.90和243.23 kV/cm,介电常数分别为1 125和453。电场强度>100 kV/cm时,漏电流分别为10-5和10-2数量级,同时铁电疲劳性能也明显改善。这些结果表明PZT/LaNiO3比PZT/Pt薄膜具有更好的电学性能,在铁电和介电器件方面具有良好的应用前景。
邹雪1,2，赵全亮3，李志永2，李进1
1. 北京交通大学土木建筑工程学院2. 北方工业大学建筑工程学院3. 北方工业大学机电工程学院
摘 要：采用了溶胶-凝胶（sol-gel）法分别在LaNiO3/Si和Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备Pb（Zr0.52Ti0.48）O3（PZT）薄膜。X射线衍射（XRD）结果表明,在相同的工艺参数下PZT/LaNiO3薄膜表现出高度的（100）取向,而PZT/Pt薄膜则呈现（100）和（111）多晶混合取向。扫描电子显微镜（SEM）结果显示,PZT/LaNiO3薄膜表面晶粒尺寸更加均匀。经过铁电和介电性能测试,PZT/LaNiO3和PZT/Pt薄膜的剩余极化强度分别为24.4和15.3μC/cm2,矫顽场分别为130.90和243.23 kV/cm,介电常数分别为1 125和453。电场强度>100 kV/cm时,漏电流分别为10-5和10-2数量级,同时铁电疲劳性能也明显改善。这些结果表明PZT/LaNiO3比PZT/Pt薄膜具有更好的电学性能,在铁电和介电器件方面具有良好的应用前景。
关键词：锆钛酸铅;铁电性能;介电性能;溶胶-凝胶;
