感生各向异性对溅射Ni80Co20合金膜的磁及磁电阻性能的影响

童六牛¹，何贤美²

(1.华东冶金学院,冶金工程系;
2.数理系,)

摘要:采用磁控溅射方法,在诱导磁场下制备了一系列不同厚度的Ni80Co20合金薄膜.并研究了外磁场诱导的面内感生各向异性随薄膜厚度及退火工艺的依赖关系,以及各向异性对样品的磁电阻回线和矫顽力的影响.实验发现,外磁场诱导的面内感生各向异性随薄膜厚度的增加而逐渐减弱.沿面内易轴方向测得的磁电阻回线在矫顽力处具有很尖锐的磁电阻变化峰,因而具有很高的磁电阻灵敏度.沿易轴方向的矫顽力比在难轴方向测得的矫顽力大,两者都随膜厚的增加而增大,其差别随膜厚的增加而减小.样品经400℃真空退火后,面内感生各向异性基本消失,矫顽力也显著降低.实验还发现,当薄膜厚度小于Ni80Co20合金的电子平均自由程(～15ns)时,各向异性磁电阻、△ρ和△ρ/ρ都陡然下降;当D＞20ns时,△ρ已基本趋于饱和,而△ρ/ρ仍继续增大.以上实验结果对Ni80Co20合金膜在磁记录和磁传感技术方面的应用具有实际意义.

关键词:感生各向异性; 磁电阻效应; 矫顽力;

【全文内容正在添加中】