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形状记忆合金薄膜在微机电系统中的应用

来源期刊：功能材料2002年第6期

论文作者：徐东蔡炳初程秀兰王莉

关键词：形状记忆合金; 形状记忆效应; 超弹性; 微机电系统; 微驱动器; 微传感器;

摘要：形状记忆合金(SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力.本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状,并展望了其未来的发展趋势.

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徐东¹，蔡炳初¹，程秀兰¹，王莉¹

(1.上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030)

摘要:形状记忆合金(SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力.本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状,并展望了其未来的发展趋势.

关键词:形状记忆合金; 形状记忆效应; 超弹性; 微机电系统; 微驱动器; 微传感器;

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