FeCoAlN软磁薄膜的制备与性能

来源期刊：磁性材料及器件2014年第4期

论文作者：周俊 陈彦 倪经 陈学平 黄豹 邹延珂

文章页码：45 - 49

关键词：FeCoAlN薄膜;制备;结构;磁性能;热稳定性;

摘    要：采用磁控溅射法在Ar+N2的混合气氛中制备FeCoAlN薄膜,并对其进行磁场真空热处理,以研究薄膜的结构、磁性及热稳定性。当N2与（N2+Ar）的流量比为9%时制备的薄膜具有良好的软磁性能。随着Al含量的增加,薄膜的热稳定性明显得到改善。Al含量为13.5%的（Fe64.8Co35.2）AlN薄膜在400℃真空磁场热处理60min,仍然具有良好的软磁性能,其饱和磁化强度μ0Ms为1.2T,易轴矫顽力为0.68kA/m,各向异性场为2.8 kA/m。