刻蚀压强对制备碳纳米管形貌的影响
来源期刊：材料开发与应用2015年第4期
论文作者：席彩萍
文章页码：70 - 73
关键词：碳纳米管;刻蚀压强;扫描电镜(SEM);
摘 要：采用等离子体增强化学气相沉积技术,以C2H2、H2和N2为反应气体,制备出碳纳米管薄膜,利用扫描电镜(SEM)对其进行表征。结果表明:催化剂刻蚀压强对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管的最佳的刻蚀压强为200 Pa。
席彩萍
渭南师范学院物理与电气工程学院
摘 要：采用等离子体增强化学气相沉积技术,以C2H2、H2和N2为反应气体,制备出碳纳米管薄膜,利用扫描电镜(SEM)对其进行表征。结果表明:催化剂刻蚀压强对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管的最佳的刻蚀压强为200 Pa。
关键词：碳纳米管;刻蚀压强;扫描电镜(SEM);
