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用喷雾热分解法制备MgO薄膜

来源期刊：材料研究学报2000年第1期

论文作者：宋世庚武光明林成鲁符晓荣

关键词：氧化镁; 薄膜; 喷雾热分解;

摘要：用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.

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宋世庚¹，武光明²，林成鲁³，符晓荣³

(1.新疆物理所;
2.北京市,102600,北京石油化工学院基础部;
3.中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室)

摘要:用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.

关键词:氧化镁; 薄膜; 喷雾热分解;

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