磁过滤电弧离子镀制备TiAlN涂层的结构与性能表征
来源期刊：中国腐蚀与防护学报2017年第3期
论文作者：陈磊 裴志亮 肖金泉 宫骏 孙超
文章页码：241 - 246
关键词：TiAlN涂层;磁过滤电弧离子镀;结合强度;力学性能;摩擦磨损性能;
摘 要：采用磁过滤电弧离子镀技术在高速钢基体上沉积TiAlN涂层。研究了N2分压对TiAlN涂层的相结构、化学成分、力学性能、沉积速率、表面粗糙度、结合强度以及摩擦磨损性能的影响。结果表明,N2分压的变化对涂层的结构与性能影响显著。随着N2分压的增加,TiAlN涂层呈现（111）择优取向,其硬度最高可达34 GPa。涂层的沉积速率和表面粗糙度随着N2分压的增大而逐渐降低。此外,由于大颗粒的去除使得涂层表面质量得到提升,所制备的TiAlN涂层均具有较低的摩擦系数（0.150.33）,并且呈现良好的抗磨损性能,其最低磨损率为8.8×10-7mm3/（N·m）。
陈磊，裴志亮，肖金泉，宫骏，孙超
中国科学院金属研究所
摘 要：采用磁过滤电弧离子镀技术在高速钢基体上沉积TiAlN涂层。研究了N2分压对TiAlN涂层的相结构、化学成分、力学性能、沉积速率、表面粗糙度、结合强度以及摩擦磨损性能的影响。结果表明,N2分压的变化对涂层的结构与性能影响显著。随着N2分压的增加,TiAlN涂层呈现（111）择优取向,其硬度最高可达34 GPa。涂层的沉积速率和表面粗糙度随着N2分压的增大而逐渐降低。此外,由于大颗粒的去除使得涂层表面质量得到提升,所制备的TiAlN涂层均具有较低的摩擦系数（0.150.33）,并且呈现良好的抗磨损性能,其最低磨损率为8.8×10-7mm3/（N·m）。
关键词：TiAlN涂层;磁过滤电弧离子镀;结合强度;力学性能;摩擦磨损性能;
