微观结构对纳米金刚石涂层WC-Co结合性能的影响

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2019年第4期

论文作者：邓彪 周科朝 肖和 魏秋平 马莉 易铭昆 罗一杰 李亮

文章页码：358 - 364

关键词：金刚石结构;纳米晶金刚石;热丝化学气相沉积;晶粒尺寸;形核密度;膜基结合强度;

摘    要：微观结构对金刚石涂层硬质合金的结合性能具有重要影响。本文采用酸碱二步腐蚀法预处理WC-Co基体,使用热丝化学气相沉积（HFCVD）设备,分别在CH₄浓度为2%,3%,4%的CH₄/H₂/Ar气氛体系中,沉积得到不同微观结构的金刚石薄膜。采用SEM和Raman分别对薄膜的表面形貌、截面形貌及sp³/sp²相成分进行表征,采用划痕法评估薄膜的膜基结合性能。结果表明:提高甲烷浓度可有效细化金刚石晶粒,有利于纳米晶金刚石的生长;当金刚石薄膜的晶粒尺寸从几百纳米降低至几十纳米时,薄膜的sp²相增多,晶粒的形核密度随之提高;各样品所沉积的金刚石薄膜在剥落时所受的临界载荷分别为15.2,6.9和9.1 N,结合薄膜的微观结构,可得出结论:高纯度、高形核密度的金刚石有利于提高纳米尺寸薄膜与WC-Co基体的结合性能。