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采用阳极氧化铝做掩膜生长氮化镓膜

来源期刊：功能材料与器件学报2006年第6期

论文作者：于广辉李爱珍雷本亮齐鸣孟胜

关键词：氮化镓; 氢化物气相外延; 阳极氧化铝;

摘要：采用均匀的多孔阳极氧化铝做掩膜在氢化物气相外延设备中生长出高质量的氮化镓膜.采用扫描电镜观察了氮化镓膜的界面性质并用阴极发光谱表征了截面上氮化镓层在不同位置的的发光性质,发现随着厚度的增加,其发光特性得到改善,而且由于掩膜结构的引入,外延膜中的压应力得到一定程度的释放.

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于广辉¹，李爱珍¹，雷本亮¹，齐鸣¹，孟胜¹

(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)

摘要:采用均匀的多孔阳极氧化铝做掩膜在氢化物气相外延设备中生长出高质量的氮化镓膜.采用扫描电镜观察了氮化镓膜的界面性质并用阴极发光谱表征了截面上氮化镓层在不同位置的的发光性质,发现随着厚度的增加,其发光特性得到改善,而且由于掩膜结构的引入,外延膜中的压应力得到一定程度的释放.

关键词:氮化镓; 氢化物气相外延; 阳极氧化铝;

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