碳纤维表面沉积碳化钨膜研究

李一^1,2，李金普¹，李发长¹，柳学全²，李楠²，周武平²，贾成厂¹

1. 北京科技大学材料科学与工程学院2. 中国钢研科技集团有限公司

摘 要：通过W（CO）6化学气相沉积（MOCVD）工艺,在碳纤维表面沉积得到了碳化钨膜材料,研究了碳纤维表面沉积碳化钨膜的工艺条件。结果表明:在400℃沉积温度下沉积时间15min,一定浓度的W（CO）6可解离沉积在碳纤维表面形成致密碳化钨膜;膜层厚度0.4μm,物相为WC1-x相,与碳纤维基体结合强度高。DTA分析表明,复合碳纤维的抗热氧化性能得到了明显提高。

关键词：碳纤维;金属有机化学气相沉积(MOCVD);碳化钨;六羰基钨;