基于PDMS的金属可调谐光栅
来源期刊：材料科学与工程学报2011年第5期
论文作者：徐胜
文章页码：742 - 746
关键词：周期可调谐金属光栅;PDMS(聚二甲基硅氧烷);机械拉伸;
摘 要：介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向机械拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的30%。
徐胜
江苏科技大学张家港校区
摘 要：介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向机械拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的30%。
关键词：周期可调谐金属光栅;PDMS(聚二甲基硅氧烷);机械拉伸;
