Ti-Ta-O复合薄膜的制备及抗腐蚀性
来源期刊：材料研究学报2001年第5期
论文作者：王伟强 杨大智 陈吉华 刘敬肖
关键词：离子束增强沉积; Ti-Ta-O薄膜; 模拟体液; 抗腐蚀性;
摘 要：采用离子束增强沉积法在NiTi基体上合成了具有不同组分比的Ti-Ta-O薄膜研究了组分比对薄膜的相结构、力学性能和抗模拟体液腐蚀性的影响SEM,AFM和XRD分析表明,所有薄膜均由纳米粒子堆积而成,膜层连续光滑,纯Ti-O膜为金红石结构,而Ti-Ta-O膜为非晶态划痕实验、显微硬度分析和电化学测试研究表明,加入Ta后,膜与基体间的结合强度、韧性和抗腐蚀性增强,显微硬度下降Ta含量为36%(原子分数)的膜使NiTi的抗蚀性显著提高.
王伟强1，杨大智1，陈吉华2，刘敬肖1
(1.大连理工大学三束材料表面改性国家重点联合实验室;
2.大连理工大学三束材料表面改性国家重点联合实验室,大连市 116024;
3.大连轻工业学院)
摘要:采用离子束增强沉积法在NiTi基体上合成了具有不同组分比的Ti-Ta-O薄膜研究了组分比对薄膜的相结构、力学性能和抗模拟体液腐蚀性的影响SEM,AFM和XRD分析表明,所有薄膜均由纳米粒子堆积而成,膜层连续光滑,纯Ti-O膜为金红石结构,而Ti-Ta-O膜为非晶态划痕实验、显微硬度分析和电化学测试研究表明,加入Ta后,膜与基体间的结合强度、韧性和抗腐蚀性增强,显微硬度下降Ta含量为36%(原子分数)的膜使NiTi的抗蚀性显著提高.
关键词:离子束增强沉积; Ti-Ta-O薄膜; 模拟体液; 抗腐蚀性;
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