入射角度对Ti/Al(001)沉积薄膜微观结构的影响
来源期刊：材料导报2012年第16期
论文作者：游晓燕 陈尚达 周银库
文章页码：153 - 319
关键词：分子动力学;入射角度;Ti/Al薄膜;
摘 要：采用分子动力学方法模拟Ti在Al(001)表面的薄膜生长过程,计算不同入射角度下Ti薄膜的表面粗糙度、堆积密度、径向分布函数、键对含量比。结果表明,当入射角度小于30°时,其对Ti薄膜粗糙度、堆积密度的影响很小,而当入射角度大于30°时,Ti薄膜粗糙度增加、堆积密度下降;入射角度对Ti薄膜微观结构的影响很小,且Ti薄膜以fcc结构为主。
游晓燕，陈尚达，周银库
湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室
摘 要：采用分子动力学方法模拟Ti在Al(001)表面的薄膜生长过程,计算不同入射角度下Ti薄膜的表面粗糙度、堆积密度、径向分布函数、键对含量比。结果表明,当入射角度小于30°时,其对Ti薄膜粗糙度、堆积密度的影响很小,而当入射角度大于30°时,Ti薄膜粗糙度增加、堆积密度下降;入射角度对Ti薄膜微观结构的影响很小,且Ti薄膜以fcc结构为主。
关键词：分子动力学;入射角度;Ti/Al薄膜;
