LMBE法异质外延β-Ga₂O₃薄膜及其紫外和发光特性的研究

来源期刊：材料导报2012年第12期

论文作者：郭进进 刘爱华 满宝元 刘枚 姜守振 侯娟 孔德敏

文章页码：52 - 112

关键词：β-Ga2O3薄膜;氧分压;紫外透射;光致发光;禁带宽度;

摘    要：采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜。研究了氧分压对薄膜表面结构和结晶程度的影响,结果表明β-Ga2O3薄膜的均方根粗糙度和X射线衍射谱峰的半高宽随着氧分压的减小呈现先减小后增大的趋势。并对氧分压为10-2 Pa条件下的薄膜进行了光致发光谱、紫外透射谱、禁带宽度变化和拉曼谱的研究,结果显示β-Ga2O3薄膜的带隙随氧分压的减小而不断增大,β-Ga2O3薄膜具有蓝光发光和深紫外高透射特性,是用于光电器件特别是紫外特性氧敏传感器的最佳材料之一。