半导体激光器后腔面高反射涂层的研究
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第3期
论文作者：张永刚 李爱珍 吴根柱 叙安怀 齐鸣
关键词：后腔面; 反射率; 高反射膜; 半导体激光器;
摘 要：采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层.经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高 60%,阈值电流减小 20%～50%,并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强度,能有效保护半导体激光器后腔面.
张永刚1，李爱珍1，吴根柱1，叙安怀1，齐鸣1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050)
摘要:采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层.经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高 60%,阈值电流减小 20%～50%,并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强度,能有效保护半导体激光器后腔面.
关键词:后腔面; 反射率; 高反射膜; 半导体激光器;
【全文内容正在添加中】
