简介概要

YIG薄膜制备方法研究

来源期刊：材料导报2003年第1期

论文作者：韩高荣张守业张溪文梁军

关键词：YIG; 法拉第旋转角; 复合薄膜;

摘要：就工艺,测试结果,性能等方面综述了钇铁石榴石YIG(Yttrium Iron Garnet)薄膜的制备方法,包括Sol-Gel、CVD、溅射、PLD、LPE等.从YIG复合薄膜的制备、基片选择等角度,提出通过提高YIG薄膜制品的磁光性能从而改善磁光器件整体性能的新思路.

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韩高荣¹，张守业¹，张溪文¹，梁军¹

(1.浙江大学硅重点实验室,杭州,310027)

摘要:就工艺,测试结果,性能等方面综述了钇铁石榴石YIG(Yttrium Iron Garnet)薄膜的制备方法,包括Sol-Gel、CVD、溅射、PLD、LPE等.从YIG复合薄膜的制备、基片选择等角度,提出通过提高YIG薄膜制品的磁光性能从而改善磁光器件整体性能的新思路.

关键词:YIG; 法拉第旋转角; 复合薄膜;

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