铅基（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜微驱动结构的特性测试
来源期刊：功能材料2015年第19期
论文作者：安坤 陈东红 何剑 丑修建 薛晨阳 张文栋
文章页码：19060 - 19064
关键词：反铁电厚膜;微悬臂梁;微驱动构件;
摘 要：采用金属醇盐为前驱体的溶胶-凝胶工艺,实现了PLZT反铁电厚膜晶圆级的制备。基于铅锆反铁电材料的相变应变效应和快速响应特性,结合微纳兼容制造关键技术,研制出具有大应变、快响应、低驱动特性的硅基（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜微悬臂梁构件。3种激励模式的测试结果表明,定频模式下梁的最大位移和速率相对于扫频模式下高出数倍,且定频模式（Square）更有利于激发反铁电材料相变,使得微悬臂梁驱动构件产生更大的应变和更快的响应速度,为大行程驱动位移和快速响应新型微执行构件的设计提供一种新的技术途径。
安坤1,2，陈东红1，何剑3，丑修建1，薛晨阳3，张文栋3
1. 中北大学电子测试技术国防重点实验室2. 中北大学计算机与控制工程学院3. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
摘 要：采用金属醇盐为前驱体的溶胶-凝胶工艺,实现了PLZT反铁电厚膜晶圆级的制备。基于铅锆反铁电材料的相变应变效应和快速响应特性,结合微纳兼容制造关键技术,研制出具有大应变、快响应、低驱动特性的硅基（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜微悬臂梁构件。3种激励模式的测试结果表明,定频模式下梁的最大位移和速率相对于扫频模式下高出数倍,且定频模式（Square）更有利于激发反铁电材料相变,使得微悬臂梁驱动构件产生更大的应变和更快的响应速度,为大行程驱动位移和快速响应新型微执行构件的设计提供一种新的技术途径。
关键词：反铁电厚膜;微悬臂梁;微驱动构件;
