SU-8光刻胶玻璃化转变温度及力学性能的分子动力学模拟
来源期刊:高分子材料科学与工程2014年第4期
论文作者:尚海鑫 褚金奎 高佳丽
文章页码:95 - 99
关键词:SU-8光刻胶;分子动力学;玻璃化转变;力学性能;
摘 要:基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型。利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能。结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能与实验结果相一致;非键能是导致非交联SU-8胶玻璃化转变的主要因素之一。
尚海鑫1,2,褚金奎1,2,高佳丽1,2
1. 大连理工大学教育部精密与特种加工重点实验室2. 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
摘 要:基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型。利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能。结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能与实验结果相一致;非键能是导致非交联SU-8胶玻璃化转变的主要因素之一。
关键词:SU-8光刻胶;分子动力学;玻璃化转变;力学性能;