薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进
来源期刊：材料科学与工程学报2002年第3期
论文作者：韩高荣 宋晨路 刘涌
关键词：计算机模拟; 初期形貌; 沉积流量;
摘 要：本文模拟了在低温基底上超薄膜沉积初期表面形貌.文章模拟多个沉积原子同时移动的生长过程,引入了宏观量沉积流量影响.在此基础上讨论了各向异性的影响作用,并改进了模型,修改了基底吸附位置的排列方式,从而获得了与实验结果更相近的图样.
韩高荣1，宋晨路1，刘涌1
(1.浙江大学材料与化工学院,浙江,杭州,310027)
摘要:本文模拟了在低温基底上超薄膜沉积初期表面形貌.文章模拟多个沉积原子同时移动的生长过程,引入了宏观量沉积流量影响.在此基础上讨论了各向异性的影响作用,并改进了模型,修改了基底吸附位置的排列方式,从而获得了与实验结果更相近的图样.
关键词:计算机模拟; 初期形貌; 沉积流量;
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