溶胶-凝胶SiO2减反膜疏水性研究（英文）
来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第S3期
论文作者：李海元 沈斌 张旭 唐永兴
文章页码：286 - 288
关键词：溶胶-凝胶;薄膜;疏水性;甲基三乙氧基硅烷;
摘 要：采用甲基三乙氧基硅烷（MTES）为部分前驱体制备了具有高疏水性溶胶-凝胶SiO2减反膜。SiO2溶胶以正硅酸乙酯（TEOS）和甲基三乙氧基硅烷为前驱体,在氨水的催化条件下水解制备。当甲基三乙氧基硅烷在前驱体中的质量分数超过20%时,膜层具有高疏水稳定性。改性膜层的折射率随甲基三乙氧基硅烷含量增高而下降。制备的含30%MTES的疏水减反膜具有较小的表面粗糙度（RMS:3.575nm）和较高的激光损伤阈值（15.64.J/cm2,355 nm/12ns）。
李海元，沈斌，张旭，唐永兴
中科院上海光学精密机械研究所 高功率激光物理国家实验室
摘 要：采用甲基三乙氧基硅烷（MTES）为部分前驱体制备了具有高疏水性溶胶-凝胶SiO2减反膜。SiO2溶胶以正硅酸乙酯（TEOS）和甲基三乙氧基硅烷为前驱体,在氨水的催化条件下水解制备。当甲基三乙氧基硅烷在前驱体中的质量分数超过20%时,膜层具有高疏水稳定性。改性膜层的折射率随甲基三乙氧基硅烷含量增高而下降。制备的含30%MTES的疏水减反膜具有较小的表面粗糙度（RMS:3.575nm）和较高的激光损伤阈值（15.64.J/cm2,355 nm/12ns）。
关键词：溶胶-凝胶;薄膜;疏水性;甲基三乙氧基硅烷;
