稀土Nd掺杂FeCo纳米磁性薄膜的结构和磁性

来源期刊：功能材料2010年第8期

论文作者：席力 周军军 孙青锦 卢建敏 张喆 李发伸

文章页码：1364 - 2737

关键词：纳米晶;真空磁场退火;软磁薄膜;

摘    要：利用射频磁控共溅射方法,通过改变Nd靶溅射功率,制备了一系列Ta/Ndx（FeCo）100-x/Ta纳米薄膜。研究了其结构和磁性随Nd含量和真空磁场退火温度（T）的变化关系。X射线衍射研究表明制备态的薄膜为非晶态,随着退火温度的升高,逐渐析出Fe-Co纳米晶,随T的进一步升高,FeCo纳米晶粒逐渐变大,而且在薄膜中生成了FeCoNd合金纳米晶。利用振动样品磁强计研究了纳米薄膜的静态磁性,结果表明,饱和磁化强度随着Nd含量的升高而降低。经真空磁场热处理的样品都表现出很好的面内磁各向异性,在Ta/Nd20（FeCo80）/Ta样品中获得了易轴矫顽力135.32A/m,难轴矫顽力为199A/m,各向异性场为8166.96A/m的优异静态磁性,表明在高频领域具有很好的潜在应用前景。