SOI高温压力传感器专用集成电路设计

来源期刊：磁性材料及器件2018年第1期

论文作者：程鑫 陈东亮 吴亚林 田雷 寇文兵

文章页码：50 - 54

关键词：压力传感器;恒定跨导运放;专用集成电路;设计;

摘    要：针对压力传感系统高温条件下无法稳定工作、性能下降等问题,设计了一种基于SOI CMOS高温工艺的压力传感器专用集成电路（ASIC）,主要由零温度系数恒流源、仪表运算放大器（由恒定跨导运放组成）和零温度系数电压基准组成,具有为压力传感器供电、放大输出信号及调节零点的功能,重点介绍了零温度系数恒流源、仪表运放及组成仪表运放的运算放大器等相关电路。仿真结果表明,-55²25℃温度范围内,恒流源温度系数为109ppm/℃,运算放大器输入MOS管跨导几乎与温度无关,仪表运放输入输出电压成正比且共模抑制比高达125 d B。测试结果显示该压力传感器专用集成电路可在225℃下正常工作。