氧化锌中的本征点缺陷对材料光电性能的影响
来源期刊：材料导报2004年第9期
论文作者：朱大中 沈相国 章炜巍
关键词：ZnO薄膜; 本征点缺陷; 本征n型; p型ZnO; 绿光;
摘 要：ZnO薄膜中的本征点缺陷对材料的电学、发光性能有着至关重要的影响.目前,对本征点缺陷的研究是ZnO领域的一大热点,也是实现ZnO基光电器件的关键技术之一.本文结合最新研究,扼要综述了本征点缺陷的电荷特性、对本征ZnO为n型的作用机理、对p型ZnO制备的影响及点缺陷对薄膜绿光发光的贡献.
朱大中1，沈相国1，章炜巍1
(1.浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所,杭州,310027)
摘要:ZnO薄膜中的本征点缺陷对材料的电学、发光性能有着至关重要的影响.目前,对本征点缺陷的研究是ZnO领域的一大热点,也是实现ZnO基光电器件的关键技术之一.本文结合最新研究,扼要综述了本征点缺陷的电荷特性、对本征ZnO为n型的作用机理、对p型ZnO制备的影响及点缺陷对薄膜绿光发光的贡献.
关键词:ZnO薄膜; 本征点缺陷; 本征n型; p型ZnO; 绿光;
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