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用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质

来源期刊:材料研究学报2003年第2期

论文作者:沈文锋 赵岩 张彩碚 孙克

关键词:无机非金属材料; SnO2薄膜; 激光烧结; 灵敏度; 气敏特性; 丙酮;

摘    要:用溶胶-凝胶法制备SnO2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al2O3基片表面制备出SnO2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO2薄膜.用XRD分析了单晶Si表面的SnO2薄膜,研究激光功率对SnO2薄膜相组成的影响.TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO2颗粒均匀,直径约为10 nm.用激光烧结法制备的SnO2薄膜对浓度为1.80×10-4丙酮的最高灵敏度为30~40,明显高于用传统烧结法制备的SnO2薄膜的灵敏度.激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度.

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用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质

沈文锋1,赵岩2,张彩碚1,孙克1

(1.东北大学;
2.中国科学院金属研究所)

摘要:用溶胶-凝胶法制备SnO2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al2O3基片表面制备出SnO2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO2薄膜.用XRD分析了单晶Si表面的SnO2薄膜,研究激光功率对SnO2薄膜相组成的影响.TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO2颗粒均匀,直径约为10 nm.用激光烧结法制备的SnO2薄膜对浓度为1.80×10-4丙酮的最高灵敏度为30~40,明显高于用传统烧结法制备的SnO2薄膜的灵敏度.激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度.

关键词:无机非金属材料; SnO2薄膜; 激光烧结; 灵敏度; 气敏特性; 丙酮;

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