化学法增大铝箔表面阳极氧化膜介电常数的研究与进展

郭红蕾¹，陈金菊¹，杨邦朝¹，冯哲圣¹

(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)

摘要:目前通过电化学方法增大铝阳极箔的有效表面积已越来越困难,铝电解电容器的阳极箔正面临一场新的技术革新:形成高介电常数的复合氧化膜来提高铝氧化膜的比容.本文对形成复合氧化膜的化学方法,复合氧化膜的生长机理,当前研究热点及形成复合氧化膜技术的未来发展进行了综合评述.

关键词:铝箔; 电容量; 复合氧化膜; 阳极氧化; 介电常数; aluminum foil; electric capacitance; composite oxide film; anodizing; dielectric constant;

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