简介概要

SOI技术的新进展

来源期刊：功能材料与器件学报2001年第1期

论文作者：林成鲁

关键词：SOI; SIMOX; Smart－cut; 低压低功耗电路;

摘要：通过对最近两次SOI国际会议的分析，综述了SOI技术取得的新进展。三种SOI技术SIMOX，Smart－cut和BESOI已走向商业化,在高温与辐射环境下工作的SOI电路也走向了市场。近来人们更加重视SOI技术，是因为SOI在实现低压、低功耗电路上的突出优越性。

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林成鲁¹

(1.中国科学院上海冶金研究所,)

摘要:通过对最近两次SOI国际会议的分析，综述了SOI技术取得的新进展。三种SOI技术SIMOX，Smart－cut和BESOI已走向商业化,在高温与辐射环境下工作的SOI电路也走向了市场。近来人们更加重视SOI技术，是因为SOI在实现低压、低功耗电路上的突出优越性。

关键词:SOI; SIMOX; Smart－cut; 低压低功耗电路;

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