铁电薄膜过渡层材料的研究进展
来源期刊：材料导报2009年增刊第2期
论文作者：崔永涛 辛立强 付兴华 于玲君
关键词：铁电薄膜; 疲劳; 过渡层材料; 介电性能; ferroelectric thin films; fatigue; oxide buffer layers; dielectric property;
摘 要：具有介电、铁电、压电等特性的铁电薄膜在动态随机存储器、移相器等功能器件上拥有广泛的应用前景,但其疲劳现象已成为应用的严重障碍,在衬底与铁电薄膜之间添加氧化物过渡层可以改善这种现象.综述了普通氧化物、钙钛矿型氧化物、超导氧化物等作为过渡层材料对铁电薄膜结构与性能的影响.
崔永涛1，辛立强1，付兴华1，于玲君1
(1.济南大学材料科学与工程学院,济南,250022)
摘要:具有介电、铁电、压电等特性的铁电薄膜在动态随机存储器、移相器等功能器件上拥有广泛的应用前景,但其疲劳现象已成为应用的严重障碍,在衬底与铁电薄膜之间添加氧化物过渡层可以改善这种现象.综述了普通氧化物、钙钛矿型氧化物、超导氧化物等作为过渡层材料对铁电薄膜结构与性能的影响.
关键词:铁电薄膜; 疲劳; 过渡层材料; 介电性能; ferroelectric thin films; fatigue; oxide buffer layers; dielectric property;
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