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无磨料低温抛光的工艺方法研究

来源期刊：机械设计与制造2005年第1期

论文作者：刘向阳郁鼎文王立江孙国梓

文章页码：71 - 73

关键词：无磨料;低温抛光;新工艺;超光滑表面;

摘要：对无磨料低温抛光这种全新的工艺方法进行了系统的研究,包括抛光设备、抛光冰盘的制备、工件盘的制备、抛光盘的修整、抛光后工件的清洗、抛光后表面粗糙度的测量等。并用此种方法对石英晶体进行了抛光实验,得到了Ra0.53mm的超光滑表面,结果证明这是一种获得超光滑表面的新方法。

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刘向阳，郁鼎文，王立江，孙国梓

关键词：无磨料;低温抛光;新工艺;超光滑表面;