简介概要

双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用

来源期刊：工矿自动化2016年第12期

论文作者：付东波杜涛涛沈绍群

文章页码：10 - 14

关键词：煤炭开采;双层电阻栅;SOI应变计;钻孔应力计;

摘要：设计了一种微熔结构的双层电阻栅SOI应变计,该应变计利用热生长氧化、光刻、刻蚀等工艺方法进行制作,解决了通常SOI应变计体电阻阻值小、易受污染的问题,提高了应变计的精度、绝缘性和工作稳定性。现场试验结果表明,利用该应变计制作的煤矿钻孔应力计测量数据准确,工作稳定可靠,适用于煤岩体应力监测。

详情信息展示

付东波¹，杜涛涛¹，沈绍群²

1. 天地科技股份有限公司开采设计事业部2. 复旦大学信息科学与工程学院

关键词：煤炭开采;双层电阻栅;SOI应变计;钻孔应力计;