采用造渣酸洗法去除硅中硼和磷
来源期刊：湖南有色金属2012年第6期
论文作者：蒋光辉 牛莎莎
文章页码：50 - 53
关键词：纯硅;除硼;除磷;
摘 要：对目前硅中硼、磷去除技术进行了综述,并针对生产高纯硅过程中硼、磷难除去的问题,提出采用熔炼造渣-酸洗的新工艺流程去除硼、磷。结果表明:通过熔炼造渣-酸洗处理之后,硼的含量可降至0.5μg/g以内,磷的含量可降至1.2μg/g。该工艺除杂效果显著、流程简单、成本低、易实现产业化;可有效地处理硼、磷含量高的硅料,且除杂效果显著。
蒋光辉，牛莎莎
湖南有色金属研究院
摘 要：对目前硅中硼、磷去除技术进行了综述,并针对生产高纯硅过程中硼、磷难除去的问题,提出采用熔炼造渣-酸洗的新工艺流程去除硼、磷。结果表明:通过熔炼造渣-酸洗处理之后,硼的含量可降至0.5μg/g以内,磷的含量可降至1.2μg/g。该工艺除杂效果显著、流程简单、成本低、易实现产业化;可有效地处理硼、磷含量高的硅料,且除杂效果显著。
关键词：纯硅;除硼;除磷;
