生长时间对纳米金刚石薄膜微结构的影响

来源期刊：超硬材料工程2014年第3期

论文作者：陈成克 胡晓君

文章页码：22 - 25

关键词：纳米金刚石薄膜;热丝化学气相沉积;微结构;相组成;

摘    要：文章研究了不同沉积时间下制备的不同厚度纳米金刚石薄膜的微观结构和相组成。采用热丝化学气相沉积法分别制备了沉积时间为52、67、97和127min的纳米金刚石薄膜。采用扫描电子显微镜和拉曼光谱表征薄膜的微观结构和相组成。结果表明,纳米金刚石薄膜表面颗粒尺寸大小无明显变化,约为50nm。随着生长时间增加,金刚石相含量保持稳定没有明显的增加或减小趋势,石墨相有序度以及石墨团簇尺寸随着生长时间增加而增加。