GDMS法和ICP-MS法测定太阳能级多晶硅中杂质元素含量

来源期刊：分析试验室2013年第9期

论文作者：张金娥 刘英 臧慕文 李继东 童坚 刘红 李爱嫦

文章页码：59 - 62

关键词：太阳能级多晶硅;辉光放电质谱法;电感耦合等离子体质谱法;杂质元素;

摘    要：采用辉光放电质谱法（GD-MS）测定太阳能级多晶硅中B,P,Fe,Co,Ni,Cu,Zn等痕量杂质元素,并优化和选择了GD-MS工作参数。考察了在半定量分析的情况下,GD-MS测定痕量杂质的精密度。结果表明,GD-MS对B,P,Na,Al,K,Ca,Fe,Ni,Cu,Co,Zn等元素测定结果的RSD都小于30%。用ICP-MS法进行验证,检出限0.14².85 ng/mL,RSD为1.6%¹2%,加标回收率85.2%¹25%。