真空蒸发镀膜法制备金属铈薄膜的表征

来源期刊：稀有金属与硬质合金2019年第4期

论文作者：吕绪明 马贤 何荧 罗立平 张晓卫

文章页码：39 - 43

关键词：真空蒸发镀膜;电磁感应加热;铈薄膜;不锈钢基体;

摘    要：采用真空蒸发镀膜法在不锈钢基体上制备金属铈薄膜,利用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）研究铈薄膜的形貌和物相结构,通过俄歇电子能谱仪（AES）和X射线光电子能谱仪（XPS）测量元素形态及膜层深度。分析结果表明:金属铈薄膜表面致密,与不锈钢基体紧密结合,膜层的厚度约为24μm;金属铈薄膜的表面已经被氧化,氧化膜的厚度约为340 nm,其成分主要由CeO₂组成,也含有少量的Ce₂O₃。