重结晶碳化硅表面MoSi₂-Si₃N₄抗氧化涂层的制备和性能

牛芳旭^1,2，王延相^1,2，刘群²，Imran Abbas²，王成国^1,2

1. 山东大学材料科学与工程学院材料液固结构演变与加工教育部重点实验室2. 山东大学材料科学与工程学院碳纤维工程技术研究中心

摘 要：用浆料涂敷法在孔隙率较高的重结晶碳化硅电热元件表面制备MoSi₂-Si₃N₄抗氧化涂层,分析了氧化前后涂层的形貌和物相组成,研究了涂层的抗氧化性。结果表明,用该法制备的涂层表面平整,结构致密。浆料在形成涂层的同时填充了大尺寸的开气孔,提高了基体的致密性,因此提高了基体的抗氧化性能。将试样在1500℃氧化性气氛中氧化100 h后,无涂层试样的电阻率增大了84.6%,而MoSi₂-Si₃N₄涂层试样的电阻率只增大10.2%。涂层处理后的电热元件,其抗氧化性显著提高。MoSi₂-Si₃N₄复合涂层的抗氧化性能,明显优于单一的MoSi₂涂层。

关键词：无机非金属材料;抗氧化涂层;重结晶碳化硅;电热元件;MoSi₂-Si₃N₄;