超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究
来源期刊：材料导报2010年第S1期
论文作者：郑春蕊
文章页码：53 - 125
关键词：ZnO;p型传导;喷雾热分解;N-Al共掺;光致发光;
摘 要：采用超声喷雾热分解法,室温下在玻璃衬底上沉积了N-Al共掺杂的p型ZnO薄膜。采用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的ZnO薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的（002）择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,并对薄膜的光致发光性能进行了研究。
郑春蕊
石家庄经济学院材料科学与工程研究所
摘 要：采用超声喷雾热分解法,室温下在玻璃衬底上沉积了N-Al共掺杂的p型ZnO薄膜。采用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的ZnO薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的（002）择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,并对薄膜的光致发光性能进行了研究。
关键词：ZnO;p型传导;喷雾热分解;N-Al共掺;光致发光;
